Ocena niezwykle cienkich powłok okrywających przez zmierzenie ich ugięcia przy niskich różnicach ciśnień w ultraczystym środowisku.
Produkt jest ekstremalnie cienką membraną o zdefiniowanej elastyczności. Narzędzie tworzy kontrolowany profil ciśnienia i mierzy ugięcie membrany. Produkt zastosowany jest w skanerze ASML i podczas procedury testowej nie może ulec zabrudzeniu.
Stanowisko testowe znajduje się w specjalnej skrzyni z przepływem w dół w celu ograniczenia powstawania cząsteczek w obszarze roboczym. Powietrze wykorzystywane do tworzenia różnicy ciśnień jest filtrowane (<10 nm). Wszystkie materiały i części ruchome zostały tak wybrane, aby zapobiegać zabrudzeniu produktu. Zaprojektowany sposób przepływu powietrza i system regulacji generują różnicę ciśnień z dokładnością < 1 Pa. Przy pomocy systemu sterowania Labview operatorzy wykonują standardowy test, a inżynierowie procesu definiują receptury testowe. Narzędzie posiada system diagnozy i walidacji.
Inne kompetencje, z których korzysta to rozwiązanie:
Ciągłość produkcji, mobilność i dostępność zależy od prawidłowego wykonania instalacji elektrotechnicznych. Bez względu na to czy chodzi o linię produkcyjną, infrastrukturę, system drogowy czy stację wysokiego napięcia – energia elektryczna ma największe znaczenie.
Inżynieria mechaniczna stanowi niezbędne ogniwo w rozwoju produktu, jego innowacji i budowie maszyn. Od systemów transportowych po złożone maszyny produkcyjne – mechanika stanowi podstawę prawidłowego i bezpiecznego działania maszyny.
Budowa maszyn, układanie instalacji technicznych i integracja systemów to jedno, ale niezawodna i bezpieczna obsługa zależy od odpowiedniego oprogramowania. W skomplikowanych maszynach, liniach produkcyjnych lub projektach infrastrukturalnych takich jak mosty czy śluzy automatyka odgrywa zasadniczą rolę.
