
Customer challenge
Klient: ASML
Produkt jest ceramiczny a tolerancja płaskości mierzona jest w nanometrach i chodzi o powierzchnię, która w niektórych miejscach posiada grubość zaledwie kilku dziesiątych milimetra. Dlatego działające napięcia powierzchniowe muszą być bardzo niskie. Urządzenia transportowe nie mogą powodować żadnych zabrudzeń.
Ponieważ produkt jest bardzo delikatny, zewnętrzne wstrząsy i wibracje muszą być wytłumione do maksymalnie 7G (70 m/s2). Należy również zarządzać wpływem klimatu. Akceptowalny zakres temperatur wynosi 0-45°C.