Opakowanie wysokiej jakości

Narzędzia transportowe dla transportu zacisków do płytek od dostawcy do ASML i od ASML do klienta.

Customer challenge

Klient: ASML

Produkt jest ceramiczny a tolerancja płaskości mierzona jest w nanometrach i chodzi o powierzchnię, która w niektórych miejscach posiada grubość zaledwie kilku dziesiątych milimetra. Dlatego działające napięcia powierzchniowe muszą być bardzo niskie. Urządzenia transportowe nie mogą powodować żadnych zabrudzeń.

Ponieważ produkt jest bardzo delikatny, zewnętrzne wstrząsy i wibracje muszą być wytłumione do maksymalnie 7G (70 m/s2). Należy również zarządzać wpływem klimatu. Akceptowalny zakres temperatur wynosi 0-45°C.

Nasze rozwiązanie

Ponieważ nie mogliśmy skorzystać z żadnych interfejsów, które umieszczone są na zacisku płytki (choćby z powodu wewnętrznych napięć wywołanych rozszerzaniem się pod wpływem temperatury), musieliśmy znaleźć nowe rozwiązanie, aby napiąć/schwycić zacisk płytki.
Produkt unieruchamiany jest pomiędzy miękkimi wężami sprężonego powietrza, przeplecionymi przez dwa dyski, zob. ilustrację. Kiedy węże naciskają na produkt, jego powierzchnia staje się większa, a napięcia powierzchniowe prawie nie wzrastają (sprawdzone podczas testów).

System ten umieszczamy na wózku z czterema tłumikami drgań. Tłumiki redukują skutki wstrząsów zewnętrznych do możliwego do zaakceptowania poziomu. Aby chronić produkt przed wpływami klimatu, wózek znajduje się w izolowanej skrzyni.

Inne kompetencje, z których korzysta to rozwiązanie:

  • Standardowe procedury ASML

Lift my career.

Onze expertisegebieden

  • Przenoszenie zrobotyzowane

    Toczone i frezowane wałki zębate umieszczane są w metalowych pojemnikach, aby przejść przez piec hartowniczy.

  • Pomiar

    Zautomatyzowany montaż matryc kafelków do detektorów rentgenowskich.