Expertise

High end Packaging.

Transportgereedschap voor transport van Wafer Clamps van de leverancier naar ASML en van ASML naar de klant.

Customer challenge

Klant: ASML

Het product is gemaakt van keramiek met vlakheidstoleraties op nanometerschaal, en heeft een oppervlak dat op sommige plekken slechts enkele tienden van millimeters dik is. De uitgeoefende oppervlaktespanningen moeten daarom zeer laag zijn. Ook mag het transportgereedschap vrijwel geen vervuiling veroorzaken.

Omdat het product erg kwetsbaar is, moeten externe schokken en trillingen gedempt worden tot een maximum van 7G (70 m/s2). Ook de klimaatinvloeden moeten worden beheerst. Het acceptabele temperatuurbereik is 0 - 45 °C.
 

Onze oplossing

Omdat we geen handling-interfaces konden gebruiken die aan de wafer clamp zelf zitten (alleen al vanwege de interne spanningen door thermische uitzetting), moesten we een nieuwe oplossing bedenken om de wafer clamp op te spannen / vast te houden.
Het product wordt vastgeklemd tussen zachte persluchtslangen die om twee schijven zijn gevlochten, zie de afbeelding. Wanneer de slangen tegen het product drukken, wordt het oppervlak ervan groter en nemen de oppervlaktespanningen nauwelijks toe (Gevalideerd middels testen).

Dit systeem plaatsen we op een trolley met vier trillingsdempers. Deze dempers verminderen de gevolgen van externe schokken tot acceptabele niveaus. Om het product klimatologisch te beschermen, is de trolley in een geïsoleerde kist geplaatst.

Andere competenties die deze oplossing gebruikt:

  • Standaardprocedures ASML

Onze expertisegebieden

  • Robotic Handling

    Raw turned and milled gear shafts are placed in metal crates for passing through a hardening oven.

  • Measurement

    Automated assembly of tile arrays for X-ray detectors.

  • High end Packaging

    Enable transport of wafer clamping module from supplier to ASML and from ASML to customer.