Het beoordelen van extreem dunne maskerdeklagen door de doorbuiging ervan te meten bij lage drukverschillen in een ultraschone omgeving.
Het product is een extreem dun membraan met een gedefinieerde elasticiteit. De tool creëert een gecontroleerd drukprofiel en meet daarbij de doorbuiging van dit membraan. Het product wordt toegepast in de ASML-scanner en mag tijdens de testprocedure niet vervuild raken.
De testopstelling is in een speciale downflow-kast geplaatst om de vorming van deeltjes in het werkgebied te beperken. De lucht die wordt gebruikt om de drukverschillen aan te brengen, wordt gefilterd (<10 nm). Alle materialen en bewegende onderdelen zijn speciaal gekozen om vervuiling van het product te voorkomen. Het luchtstroomontwerp en de regelsystemen genereren drukverschillen met een nauwkeurigheid van <1 Pa. Met het Labview-besturingssysteem voeren operators standaardtests uit en definiëren procesingenieurs de testrecepten. De tool is uitgerust met een diagnose-validatiesysteem.
Andere competenties die deze oplossing gebruikt:
Raw turned and milled gear shafts are placed in metal crates for passing through a hardening oven.
Automated assembly of tile arrays for X-ray detectors.
Enable transport of wafer clamping module from supplier to ASML and from ASML to customer.
